Evaporation coating: Pinaagi sa pagpainit ug pag-evaporate sa usa ka substansiya aron ibutang kini sa solid nga nawong, gitawag kini nga evaporation coating.Kini nga pamaagi unang gisugyot ni M. Faraday niadtong 1857, ug nahimo kining usa sa
kasagarang gigamit nga mga teknik sa pagpahid sa modernong panahon.Ang istruktura sa evaporation coating equipment gipakita sa Figure 1.
Ang mga evaporated substance sama sa metal, compounds, ug uban pa gibutang sa usa ka crucible o gibitay sa usa ka init nga wire isip tinubdan sa evaporation, ug ang workpiece nga tabonan, sama sa metal, ceramic, plastic ug uban pang substrates, gibutang sa atubangan sa tunawan sa tubig.Human mabakwit ang sistema ngadto sa taas nga haw-ang, ang crucible gipainit aron maalisngaw ang mga sulod.Ang mga atomo o molekula sa evaporated substance gibutang sa ibabaw sa substrate sa usa ka condensed nga paagi.Ang gibag-on sa pelikula mahimong gikan sa gatusan ka angstrom hangtod sa daghang micron.Ang gibag-on sa pelikula gitino pinaagi sa evaporation rate ug oras sa evaporation source (o ang loading amount), ug may kalabutan sa gilay-on tali sa tinubdan ug sa substrate.Alang sa dako nga lugar nga mga coating, ang usa ka rotating substrate o daghang mga gigikanan sa evaporation sagad gigamit aron masiguro ang pagkaparehas sa gibag-on sa pelikula.Ang gilay-on gikan sa tinubdan sa pag-alisngaw ngadto sa substrate kinahanglan nga mas ubos kay sa gipasabot nga libre nga agianan sa mga molekula sa alisngaw sa nahabilin nga gas aron mapugngan ang pagbangga sa mga molekula sa alisngaw nga adunay nahabilin nga mga molekula sa gas gikan sa hinungdan sa mga epekto sa kemikal.Ang kasagaran nga kinetic energy sa mga molekula sa alisngaw maoy mga 0.1 ngadto sa 0.2 electron volts.
Adunay tulo ka matang sa mga tinubdan sa evaporation.
①Resistance heating source: Gamita ang refractory nga mga metal sama sa tungsten ug tantalum sa paghimo sa boat foil o filament, ug gamita ang electric current sa pagpainit sa evaporated substance sa ibabaw niini o sa crucible (Figure 1 [Schematic diagram of evaporation coating equipment] vacuum coating) Resistance heating Ang tinubdan kay kasagarang gigamit sa pag-alisngaw sa mga materyales sama sa Cd, Pb, Ag, Al, Cu, Cr, Au, Ni;
②High-frequency induction heating source: gamita ang high-frequency induction current sa pagpainit sa crucible ug evaporation nga materyal;
③Gigikanan sa pagpainit sa electron beam: magamit Alang sa mga materyales nga adunay mas taas nga temperatura sa evaporation (dili ubos sa 2000 [618-1]), ang materyal gipaalisngaw pinaagi sa pagpamomba sa materyal nga adunay mga electron beam.
Kung itandi sa ubang mga pamaagi sa vacuum coating, ang evaporative coating adunay mas taas nga deposition rate, ug mahimo nga adunay sapaw sa elementarya ug non-thermally decomposed compound films.
Aron makadeposito sa usa ka high-purity nga single crystal film, mahimong magamit ang molecular beam epitaxy.Ang molecular beam epitaxy device alang sa pagtubo sa doped GaAlAs single crystal layer gipakita sa Figure 2 [Schematic diagram of molecular beam epitaxy device vacuum coating].Ang jet furnace adunay himan nga tinubdan sa molekular nga sinag.Sa diha nga kini gipainit sa usa ka temperatura ubos sa ultra-high vacuum, ang mga elemento sa hudno ipagawas ngadto sa substrate sa usa ka sagbayan nga sama sa molekular nga sapa.Ang substrate gipainit sa usa ka temperatura, ang mga molekula nga gibutang sa substrate mahimong molalin, ug ang mga kristal gipatubo sa han-ay sa substrate nga kristal nga lattice.Ang molecular beam epitaxy mahimong magamit sa
pag-angkon og usa ka high-purity compound nga single crystal film nga adunay gikinahanglan nga stoichiometric ratio.Ang pelikula motubo sa pinakahinay Ang katulin makontrol sa 1 single layer/sec.Pinaagi sa pagpugong sa baffle, ang usa ka kristal nga pelikula nga adunay gikinahanglan nga komposisyon ug istruktura mahimo nga tukma.Ang molekular nga beam epitaxy kaylap nga gigamit sa paghimo sa lainlaing mga optical integrated nga aparato ug lainlaing mga pelikula sa istruktura sa superlattice.
Oras sa pag-post: Hul-31-2021